全球首创的复合机台，满足学校、科研院所、微纳加工中心等场景的需求。

CD-SEM存在测量不准确、长时间使用后测量不稳定（验收时，与其他产线设备已完成匹配；使用一段时间后，设备之间无法匹配；量测结果误差远超可容忍范围）、CD-SEM过了质保期后，无法及时提供维护等问题。CD-SEM在产线上已经不能发挥该有的作用。

CD-SEM（Critical Dimension Scan Electronic Microscope 关键尺寸扫描电子显微镜）是一种半导体前道量测设备，用于量测芯片生产过程中所产生的各种图案的关键尺寸，以检测芯片生产工艺的稳定性，并确保芯片生产的良率。CD-SEM是一套全自动化的半导体检测设备，它包含非常复杂的硬件系统和软件系统。CD-SEM的主要功能是监测光刻机光刻效果、量测刻蚀机刻蚀效果，是半导体产线的核心装备。