Milla系列 复合机台

Milla系列50nm CD-SEM/1nm SEM多用途复合机台，创新性地将高性能SEM成像与高精度CD-SEM量测融为一体。

关键指标：

• CD量测范围：50nm – 10um
• 电子束图形分辨率：<2nm
• 量测重复性：2nm or ±1% 
• 工作条件：300-2000V，5-100pA

产品能力：

• 支持Line/Space，Hole/Elliptic，LER/LWR等多种量测场景
• 支持CD-SEM/SEM两种工作模式实时切换
• 支持特殊量测场景定制化